发明名称 内部调节筒的气体输送
摘要 一种气体供应包装,其包含一气体储存与分配容器以定义出适合容纳一气体来源材料的内部容积,并且在该内部容积中具有一气体分配杆状装置。气体分配杆状装置包含至少一个调节器,该调节器与一流动通道耦接并且设置有一大致平面状的过滤元件,以便在气体流过该(些)调节器之前,先过滤流经该流动通道的气体。流动通道与至少一大致平面的过滤元件系设置用以产生:(i)在过滤元件附近的气导率(gas flow conductance)变化,及/或(ii)相对于容器纵轴及/或相对于流动通道之纵轴而言非零度角度的气流方向,以增进过滤元件的捕集效率。
申请公布号 TW200900128 申请公布日期 2009.01.01
申请号 TW097105636 申请日期 2008.02.18
申请人 尖端科技材料股份有限公司 发明人 伍德詹斯基麦克J;王录平;安诺乔斯I
分类号 B01D29/23(2006.01) 主分类号 B01D29/23(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财;李世章
主权项
地址 美国