供微影术应用之经热固化底层

摘要

一种耐蚀刻性热可硬化性底层组成物，其使用在多层微影方法中来产生一涂布光微影光刻双层的基材，此组成物为下列组成物：(a)一种包含结构I、II及III之重覆单元的聚合物：#P 097106291P01.bmp(b)至少一种交联剂；(c至少一种热酸产生剂；及(d)至少一种溶剂。