已分割之晶粒测试方法及设备

摘要

根据本发明之一实施例，可实施一种已分割晶粒测试之方法。这可藉由取得一晶圆并将该等晶粒分割为个别的晶粒单件来实施。该等已切割之晶粒可设置在各别的测试布局中，并且甚至可合并来自多个晶圆的晶粒成为组合布局之一部分。然后，可在该组合测试布局上执行测试。