| 发明名称 | 钴基合金化学镀液以及使用该化学镀液的化学镀法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种钴基合金化学镀液，其包含钴前驱体、钨前驱体、磷前驱体、还原剂、络合剂、pH调节剂和稳定剂，其中所述还原剂为二甲胺硼烷(DMAB)或氢硼化物，并且所述稳定剂为选自由咪唑、噻唑、三唑、二硫化物以及它们的衍生物组成的组中的一种或多种化合物；以及使用所述钴基合金化学镀液的化学镀法，和通过该法制备的薄膜。根据本发明，所述钴基合金镀液对于长期重复使用足够稳定，且通过抑制沉淀生成避免金属薄膜质量的劣化。本发明进一步提供使用所述钴基合金化学镀液的化学镀法，和通过该法制备的钴基合金薄膜。 | ||
| 申请公布号 | CN101336309A | 申请公布日期 | 2008.12.31 |
| 申请号 | CN200680051913.X | 申请日期 | 2006.12.28 |
| 申请人 | LG化学株式会社 | 发明人 | 李商哲;金珉均;高敏镇 |
| 分类号 | C23C18/54(2006.01) | 主分类号 | C23C18/54(2006.01) |
| 代理机构 | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 朱梅;黄丽娟 |
| 主权项 | 1、一种钴基合金化学镀液，其包含：钴前驱体、钨前驱体、磷前驱体、还原剂、络合剂、pH调节剂和稳定剂，其中，所述还原剂为二甲胺硼烷(DMAB)或氢硼化物，并且所述稳定剂为选自由咪唑、噻唑、三唑、二硫化物以及它们的衍生物组成的组中的一种或多种化合物。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||