| 发明名称 | 用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃。在所述纳米压印光刻法中，该石英玻璃在0℃和250℃之间具有－300～300ppb/℃的CTE和25℃下最高为100ppb/℃的CTE分布，适合用作纳米压印模具。 | ||
| 申请公布号 | CN101333069A | 申请公布日期 | 2008.12.31 |
| 申请号 | CN200810098675.9 | 申请日期 | 2008.06.06 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 每田繁;大塚久利 |
| 分类号 | C03C3/06(2006.01);C03C3/078(2006.01);G03F7/00(2006.01) | 主分类号 | C03C3/06(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 李帆 |
| 主权项 | 1.一种用作纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃，其在0℃和250℃之间具有-300～300ppb/℃范围内的线性热膨胀系数(CTE)和25℃下最高为100ppb/℃的CTE分布。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||