集成于流道内的微型阀

摘要

本发明提供了一种由微鳞片结构组成的微型阀，属于微流体控制输运领域。该微型阀包括微流道及连接于流道侧壁上的微型鳞片阵列结构，微鳞片彼此平行排布，并与流道侧壁成一定的倾角，顺着鳞片排布方向的流动为正向流动，反之为逆向流动。由于正向流动时鳞片对流体产生的阻力小，而逆向时鳞片对流体产生较大的阻力，因此正向与逆向产生流量差，结构实现了单向阀的功能。本发明利用MEMS微加工工艺或化学合成技术制备，可广泛应用于微流体芯片系统内的流体控制。

主权项

1、一种集成于流道内的微型阀，它包括流道及连接在流道侧壁上的若干微鳞片结构，微鳞片彼此平行排布，并与流道侧壁成一定的倾角，顺着鳞片排布方向的流动为正向流动，为微型阀的开启方向；逆着鳞片排布方向的流动为反向流动，为微型阀的关闭方向，其特征在于：集成在流道侧壁上的微鳞片是类似鲨鱼鳍的仿生结构。