| 主权项 |
1、一种微机械硅谐振梁加速度计，是基于微电子机械技术加工而成，由硅质量块、支撑梁、锚点、玻璃基片、电极引线及谐振梁组成，其特征在于，在玻璃基片上，四个支撑梁锚点均分为两组：一组支撑梁锚点与另一组支撑梁锚点，以水平X线和垂直Y线为准，上下左右对称设置；四个电极锚点和六个电极引线也均分为两组：一组电极锚点与另一组电极锚点，一组电极引线与另一组电极引线，各自以水平X线和垂直Y线为准，上下左右对称设置；一组电极引线和另一组电极引线，分别水平位于玻璃基片的上下侧边；第二电极引线，四个电极锚点和第五电极引线，由上到下设于Y线上；第一电极引线与第一支撑梁锚点电连接，第二电极引线与第一电极锚点电连接，第三电极引线与第二电极锚点电连接，第四电极引线与第四支撑梁锚点电连接，第五电极引线与第四电极锚点电连接，第六电极引线与第三电极锚点电连接；硅质量块处于玻璃基片的中央部位，悬置，其四角通过四个支撑梁分别固接于四个支撑梁锚点上；第一、第二支撑梁与第一、第二支撑梁锚点连接端之间，还水平固接有第一根谐振梁；而第三、第四支撑梁与第三、第四支撑梁锚点连接端之间，还水平固接有第二根谐振梁；第一、第二电极锚点分置于第一谐振梁上下两侧，第三、第四电极锚点分置于第二谐振梁上下两侧；当硅质量块在加速度作用下受到的惯性力，通过力-应力转换结构传递到所述两个谐振梁上时，改变了所述两个谐振梁的轴向机械应力，两个谐振梁各自感受相反方向的应力，一个谐振梁的谐振频率增加而另一个谐振梁的谐振频率下降，通过检测所述两个谐振梁的谐振频率差，实现对加速度测量。 |
