真空阴极弧直管过滤器

摘要

真空阴极弧直管过滤器，它涉及的是金属等离子体引入材料表面的装置。它是为了解决现有技术不能滤除等离子体中金属颗粒的问题。它的金属过滤墙(5)左侧的端面(5-1)上设有圆形凸台(5-2)，金属过滤墙(5)的通孔(5-4)的轴心线、圆形凸台(5-2)的轴心线与左侧的端面(5-1)的轴心线相重合；真空阴极弧源头(1)的绝缘部分(1-1)镶嵌在金属壳体(2)左侧端盖上的孔(2-1)中，第一过滤线圈(3)、第二过滤线圈(4)并列套接在金属壳体(2)的外壁上，金属过滤墙(5)左侧的端面(5-1)连接在金属壳体(2)的右侧端口(2-2)上，金属过滤墙(5)右侧的端面(5-3)连接在真空室壁(6)的入口端(6-1)上。本发明能高效滤除等离子体中的金属颗粒，所获等离子体的纯净度高，并具有结构简单、易维护、制造成本低等优点。

主权项

1.真空阴极弧直管过滤器，它包含真空阴极弧源头(1)、真空室壁(6)，其特征在于它还包含金属壳体(2)、第一过滤线圈(3)、第二过滤线圈(4)、金属过滤墙(5)；金属过滤墙(5)是开有通孔(5-4)的圆形金属体，金属过滤墙(5)左侧的端面(5-1)上设有圆形凸台(5-2)，金属过滤墙(5)的通孔(5-4)的轴心线、圆形凸台(5-2)的轴心线与左侧的端面(5-1)的轴心线相重合；真空阴极弧源头(1)的绝缘部分(1-1)镶嵌在金属壳体(2)左侧端盖上的孔(2-1)中，第一过滤线圈(3)、第二过滤线圈(4)并列套接在金属壳体(2)的外壁上，金属过滤墙(5)左侧的端面(5-1)连接在金属壳体(2)的右侧端口(2-2)上，金属过滤墙(5)右侧的端面(5-3)连接在真空室壁(6)的入口端(6-1)上，真空阴极弧源头(1)发射等离子体的轴心线、第一过滤线圈(3)的磁感应轴线、第二过滤线圈(4)的磁感应轴线与金属过滤墙(5)中的通孔(54)的轴心线相重合；金属壳体(2)是非导磁金属体。