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发明名称 Method for singulating devices
摘要
申请公布号 EP1663852(B1) 申请公布日期 2008.12.31
申请号 EP20040738871 申请日期 2004.07.07
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 RUDHARD, JOACHIM
分类号 H01L21/306;B81C1/00;H01L21/66 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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