发明名称 激光照射装置和使用该装置制造有机发光显示器的方法
摘要 本发明提供激光照射装置和使用该装置制造有机发光显示器的方法。激光照射装置包括位于激光发生器下面的掩模,掩模构图为沿扫描方向掩模图案的上部和下部的长度构图为长于掩模中部的长度。制造有机发光显示器的方法包括使用激光照射装置在供体衬底预定区域上扫描激光束,在衬底上形成有机层图案。当使用激光致热成像(LITI)方法形成有机层图案时,用低能量激光进行转移,可以提高激光束效率,减少有机层受损伤,并且可以提高转移的有机层图案的质量。
申请公布号 CN100448063C 申请公布日期 2008.12.31
申请号 CN200410082067.0 申请日期 2004.12.31
申请人 三星SDI株式会社 发明人 李在濠;姜泰旻;李城宅;金镇洙
分类号 H01L51/56(2006.01);H01S3/101(2006.01);G02B26/10(2006.01) 主分类号 H01L51/56(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 马高平;杨梧
主权项 1.一种激光照射装置,包括:一激光发生器;和位于该激光发生器下面的一掩模,其中沿扫描方向,该掩模的上部和下部的长度构图为长于该掩模的中部的长度。
地址 韩国京畿道