发明名称 使用固体电解质的电气元件和存储装置及其制造方法
摘要 本发明涉及一种使用用于选择存储单元的晶体管和固体电解质的开关。存储单元中,在形成于半导体基片表面的场效应晶体管的漏扩散层上层叠金属。在金属上层叠金属为载流子的固体电解质。固体电解质与金属隔着空隙连接,金属连接至共同接地线,场效应晶体管的源极连接至列地址线,场效应晶体管的栅极连接至行地址线。
申请公布号 CN100448049C 申请公布日期 2008.12.31
申请号 CN02818779.2 申请日期 2002.09.24
申请人 独立行政法人科学技术振兴机构;独立行政法人理化学研究所;日本电气株式会社 发明人 阪本利司;青野正和;长谷川刚;中山知信;寺部一弥;川浦久雄;杉林直彦
分类号 H01L45/00(2006.01);H01L27/24(2006.01);G11C13/02(2006.01) 主分类号 H01L45/00(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 谷惠敏;关兆辉
主权项 1.一种电气元件,是使用固体电解质的固体电解质晶体管,其特征在于:绝缘膜上的金属薄膜的一部分是以该金属薄膜的金属离子为载流子的固体电解质;在该固体电解质上设置绝缘膜;在该绝缘膜上设置栅电极;和如果给该栅电极施加负电压,该金属薄膜中的金属被氧化而变为金属离子在该固体电解质中移动,从而晶体管断开,相反如果施加正电压,该固体电解质中的金属离子还原变为金属,返回原来的位置,从而晶体管接通。
地址 日本埼玉县川口市