发明名称 |
多晶硅铸锭炉及控制方法 |
摘要 |
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉以及对该炉的控制方法,多晶硅铸锭炉,包括封闭的炉体(1)、在工作台(8)上活动设置的坩埚(3)、温度传感器(5)、压力传感器(19)、CPU及接口电路,在工作台(8)上活动设置一与提升装置(6)机械连接在一起的罩体(13),CPU通过接口电路控制罩体(13)内设置的电阻加热丝(9)、炉内气压和罩体(13)的提升量。CPU通过各接口电路实现对多晶硅铸锭炉的自动控制。本发明的多晶硅铸锭炉及控制方法,提高了用硅溶液生长多晶硅时,晶核排列的同一性和排列密度,使生成的多晶硅的光电转换率大大提高。 |
申请公布号 |
CN101333681A |
申请公布日期 |
2008.12.31 |
申请号 |
CN200810055537.2 |
申请日期 |
2008.08.01 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第二研究所 |
发明人 |
侯炜强;程建平;张金凤;韩栋梁 |
分类号 |
C30B29/06(2006.01);C30B28/06(2006.01) |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01) |
代理机构 |
山西科贝律师事务所 |
代理人 |
陈奇 |
主权项 |
1、一种多晶硅铸锭炉,包括封闭的炉体(1)、在炉体(1)内的底部固定设置的工作台(8)、在工作台(8)上活动设置的坩埚(3)、CPU及接口电路,其特征在于,在所述的工作台(8)上活动设置一罩体(13),该罩体(13)通过从炉体(1)的顶部穿出的提升杠与提升装置(6)机械连接在一起,该提升装置(6)的电控端通过通讯接口电路RS232与所述的CPU电连接在一起;在所述的罩体(13)的顶板上设置有通过孔,穿线管(18)通过该通过孔从炉体的顶部穿出,且罩体(13)可沿穿线管(18)上下移动,在罩体(13)内设置有电阻加热丝(9),该电阻加热丝(9)通过从穿线管(18)中穿过的导线与炉外的电加热功率调节装置(12)电连接在一起,电加热功率调节装置(12)通过第一接口电路(16)与CPU电连接;在所述的炉体(1)内还设置有温度传感器(5)和压力传感器(19),温度传感器(5)通过第二接口电路(7)与CPU电连接,压力传感器(19)通过第三接口电路(4)与CPU电连接,CPU通过第四接口电路(15)与气体流量计(11)的电控端电连接,实现对从保护气入口(10)进入到炉体的保护气的气流的控制,在所述的炉体(1)上还设置有保护气排气装置(2),该保护气排气装置(2)的排气泵(14)的电控端与CPU电连接在一起。 |
地址 |
030024山西省太原市和平南路115号 |