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发明名称 Mechanical gripper for wafer handling robots
摘要
申请公布号 EP1037264(B1) 申请公布日期 2008.12.31
申请号 EP20000302196 申请日期 2000.03.17
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 SUNDAR, SATISH
分类号 B25J15/08;H01L21/00;B25J15/02;H01L21/677;H01L21/687 主分类号 B25J15/08
代理机构 代理人
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