微电子弹簧触点上的基准对准标记

摘要

本发明揭示在一半导体晶片接触器或类似装置上使用的具有基准对准标记的微电子弹簧触点，及使用一牺牲基板制作此等标记之方法。每个对准标记均位于一焊垫上毗邻一触点尖端处。该对准标记在该焊垫上的定位应使其不会接触受试端子或一受试晶片之任一其它部分。较佳地，以相同微影步骤将该对准标记和触点尖端定位在该焊垫上。然后，将该焊垫及类似焊垫附装于一弹性接触元件阵列的末端，其中选自该等类似焊垫的一些焊垫也具有类似对准标记。因此，本发明亦揭示了相对于一接触器上的多个触点尖端精确对准的多个对准标记。本发明还揭示了多个构造，如本文所述的具有各种不同实例性形状的对准标记，该等构造用于确保该等对准标记基本上能够在该触点的整个使用寿命期间保持无碎屑且易于定位。

主权项

1、一种用于一电子装置的弹簧接触结构，所述弹簧接触结构包括：一柱形元件，藉此所述弹簧接触结构被附加至所述电子装置；一弹簧主体，其附加至所述柱形元件并与所述电子装置留有间隔；一触点尖端，其设置在所述弹簧主体上；一对准标记，其设置在所述弹簧主体上自所述触点尖端一固定距离处。