| 主权项 |
1、一种热键合装置，包括外腔(1)，外腔(1)上部设有加压装置(25)，加压装置(25)底端伸入外腔(1)内并依次连接隔热垫板(21)和上加热器(20)，另有真空获得系统(19)、气路接口(24)、真空检测仪表(23)和高压检测仪表(22)分别与外腔(1)相接，其特征在于，还包括位于外腔(1)底部的基座(2)，基座(2)中间部分为凸台，凸台内有均匀分布的沉孔，沉孔内放置弹簧(3)，在弹簧(3)伸出凸台的一端上放置球头小柱(4)，在球头小柱(4)上放置隔热板(7)，在基座(1)上均匀放置三个限位杆(5)，限位杆(5)上部分紧靠隔热板(7)侧壁；隔热板(7)上放置下加热器(8)；在基座(1)凸台两侧设有两支撑架(6)，中间部分为空的工作台基板(10)通过滑轨(9)固定于两支撑架(6)之间；在工作台基板(10)空心部分四周均匀设置三个导杆(14)，导杆(14)上套有下弹簧(11)，用于支撑下工作台机构；下工作台机构由与下弹簧(11)顶端相接触的下工作台托架(12)和位于托架(12)上的下工作台(17)构成，下工作台托架(12)的底部正好位于工作台基板(10)空心区域，该底部采用高导热绝缘材料，边沿处添设隔热垫圈(18)；在下弹簧(11)与下工作台托架(12)接触处上端的导杆(14)上套有上弹簧(13)，用于支撑上工作台机构；上工作台机构由上工作台托板(15)和固定于上工作台托板下端面的上工作台(16)构成，上工作台(16)与下工作台(17)位置相对应。 |
