用于制造微加工装置压电薄膜的方法

摘要

一种用于制造MEMS装置的方法，包括提供一个基片，该基片具有一个背侧、一个与背侧相反的前侧和一个外周部分。预期的微结构形成在基片背侧。然后，基片被支承着旋转。一种前体溶液在旋转过程中被沉积在基片前侧，以形成薄膜层，在形成薄膜层的过程中，基片被支承并旋转，形成在背侧的微结构被保护着。

主权项

1.一种用于制造微加工装置压电薄膜结构的方法，包括：提供基片；在基片的背侧形成微结构；在微结构形成之后，向基片的前侧沉积前体溶液并同时旋转基片，以便在该前侧上形成薄膜层；在旋转基片的过程中，前体溶液不接触微结构；通过退火使上述薄膜层结晶形成压电薄膜。