一种微流体系统的制作方法

摘要

本发明涉及微流体系统，公开一种微流体系统的制作方法。它包括以下步骤：选用光刻胶SU－8，在玻璃晶片上匀胶、烘烤制作微流体系统的基体，采用UV－LIGA厚胶紫外光刻工艺制作微流体系统的腔体；采用美国3M公司的VHB4910薄膜材料作为振膜层，涂敷导电碳膏，形成泵膜和内引线；根据微流体系统的腔体结构尺寸，在有机玻璃上开设与微泵室、进出液口相对应的通孔；采用3M公司的VHB9473薄膜材料做为黏结层，将振膜层对准覆盖在黏结层上，在振膜层和黏结层上开设进出液通孔，然后对准压接上有机玻璃，室温放置结合；最后，安装进出液管，电连接引出内引线，即可。

主权项

1、一种微流体系统的制作方法，其特征在于包括以下步骤：(1)选用光刻胶SU-8，在玻璃晶片上匀胶、烘烤制作微流体系统的基体，采用UV-LIGA厚胶紫外光刻工艺制作微流体系统的腔体，所述腔体包括微泵室和进出液口；(2)采用美国3M公司的VHB4910薄膜材料作为振膜层，根据微流体系统的腔体结构尺寸，在振膜层涂敷导电碳膏，形成泵膜和内引线；(3)根据微流体系统的腔体结构尺寸，在有机玻璃上开设与微泵室、进出液口相对应的通孔；(4)采用3M公司的VHB9473薄膜材料做为黏结层，按照基体的外观尺寸剪裁后，将振膜层对准覆盖在黏结层上，在振膜层和黏结层上开设进出液通孔，然后对准压接上有机玻璃，室温放置结合；最后，安装进出液管，电连接引出内引线，即可。