压电部件及其制造方法

摘要

本发明涉及压电部件及其制造方法。压电部件具有压电元件，压电元件具有压电基片、形成在基片上的至少一个振荡部分、连接到振荡部分的元件布线部分，其特征在于，由感光性树脂构制成的侧面侧中空部分形成层和盖面侧中空部分形成层围绕振荡部分的顶面和侧面形成空隙，以提供中空部分，还具有：感光性树脂制成的绝缘保护层，覆盖并保护元件布线部分除电极构成部分之外的顶面、侧面侧中空部分形成层的侧面、盖面侧中空部分形成层的侧面；感光性树脂制成的绝缘层，覆盖并密封绝缘保护层的整个表面；贯通电极，设置在穿过绝缘层形成的通孔中以连接元件布线电极部分；外部电极端子，形成在绝缘层的同一外表面上以连接贯通电极。

主权项

1、一种具有压电元件的压电部件，压电元件具有压电基片、形成在所述的压电基片上的至少一个振荡部分以及连接在所述的振荡部分上的元件布线部分，其特征在于，由感光性树脂制成的侧面侧中空部分形成层和盖面侧中空部分形成层围绕所述的振荡部分的顶面和侧面，形成空隙，以提供中空部分，还具有：由感光性树脂制成的绝缘保护层，覆盖并保护所述的元件布线部分除其电极构成部分之外的顶面，所述的侧面侧中空部分形成层的所述的侧面和所述的盖面侧中空部分形成层的侧面；由感光性树脂制成的绝缘层，覆盖并密封所述的绝缘保护层的整个表面；贯通电极，设置在穿过所述的绝缘层形成的通孔中以连接所述的元件布线电极部分；外部电极端子，形成在所述的绝缘层的同一外表面上以连接到所述的贯通电极。