| 发明名称 |
Transparent oxide semiconductor thin film transistor |
| 摘要 |
This invention relates to novel, transparent oxide semiconductor thin film transistors (TFT's) and a process for making them.
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| 申请公布号 |
US7470607(B2) |
申请公布日期 |
2008.12.30 |
| 申请号 |
US20050527173 |
申请日期 |
2005.03.07 |
| 申请人 |
E.I. DU PONT DE NEMOURS & COMPANY |
发明人 |
CARCIA PETER FRANCIS;MCLEAN ROBERT S. |
| 分类号 |
H01L21/44;C23C14/08;H01L21/336;H01L21/363;H01L21/365;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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