图像传感器及其制造方法

摘要

公开了一种可以提供直接与衬底的有源区域上方对准的微透镜的图像传感器及其制造方法。图像传感器可以包括具有像素区域的衬底。有源区域可以形成于像素区域上并且可以包括光电二极管。可以在衬底的像素区域上设置金属线和层间介电质。微透镜可以形成于金属线和层间介电质的上方以直接与像素区域的有源区域对准。为了实现这样的对准，微透镜的对准标记可以与有源区域的对准标记对准。在一个实施例中，可以避免微透镜形成于金属线正上方。本发明可以通过将微透镜与有源区域直接对准，使光损耗最小化。

主权项

1.一种图像传感器，包括：层间介电质和金属线，位于衬底的像素区域上；以及微透镜，在所述层间介电质和所述金属线的上方，其中所述微透镜与所述像素区域的有源区域对准。