| 摘要 |
1. Способ изготовления заготовок для оптических световодов путем плазохимического осаждения из газовой фазы в СВЧ-разряде оптической структуры сердцевины и отражающей фторсиликатной оболочки заготовки, который включает стадию осаждения оптической структуры сердцевины на внутреннюю поверхность оптически чистой кварцевой опорной трубы (ОТ), расположенной в кварцевом реакторе соосно оси резонатора типа Е, при возвратно-поступательном перемещении которого и СВЧ-плазмы пониженного давления, вдоль внутренней поверхности ОТ, которую предварительно вакуумируют до рабочего давления 1-20 тор и помещают в кварцевом реакторе, находящемся при атмосферном давлении и заполненным сухим чистым азотом, заполнение после осаждения оптической структуры сердцевины кварцевой опорной трубы при атмосферном давлении чистым сухим азотом без протока, вакуумирование кварцевого реактора и создание внутри реактора СВЧ-плазмы с резонатором Евокруг наружной поверхности оптически чистой опорной кварцевой трубы, на которую наносят при возвратно-поступательном перемещении резонатора и СВЧ-плазмы пониженного давления вдоль этой наружной поверхности отражающую фторсиликатную оболочку с последующим схлопыванием полученной заготовки газопламенной горелкой в штабик.2. Способ изготовления трубчатых заготовок для оптических световодов путем плазохимического осаждения из газовой фазы в СВЧ-разряде оптической структуры сердцевины и отражающей фторсиликатной оболочки, в котором оптическую структуру сердцевины формируют на внутренней поверхности кварцевой оптически чистой опорной трубки, расположенной в кварцевом реакторе соо� |
