摘要 |
Способ нанесения композиционных покрытий в вакууме на изделия, включающий электродуговое распыление катодной мишени, отличающийся тем, что до включения электродугового генератора в вакуумную камеру устанавливают защитный экран, перекрывающий возможность попадания плазменного потока на изделия в вакуумной камере, а затем его убирают после того, как с рабочей поверхности катода удаляется поверхностный слой материала толщиной не менее 0,5 мкм. |