| 摘要 |
Полезная модель относится к газоаналитическому приборостроению и микроэлектронике и может быть использовано при производстве сенсоров, изготовленных по полупроводниковой микроэлектронной технологии и конструировании газоанализаторов, предназначенных для детектирования и измерения концентрации газов в воздухе.Технической задачей, на решение которой направлена предлагаемая полезная модель, является повышение чувствительности и селективности детектирования газов при контроле состава окружающей газовой средыВ предложенном газовом сенсоре, включающем высокоомную полупроводниковую подложку, на поверхности которой выполнен газочувствительный слой с контактами, согласно предложенной полезной модели, газочувствительный слой сформирован в виде модифицированной ионной имплантацией аргона структуры. Газочувствительный слой может быть сформирован в виде структуры кремний-на-изоляторе, модифицированной ионной имплантацией аргона. Газовый сенсор может быть выполнен в виде матрицы сенсоров, газочувствительный слой каждого из которых сформирован в виде модифицированной ионной имплантацией аргона структуры.Предложенное устройство для контроля газовой среды, включающее блок питания, систему напуска анализируемой газовой среды, микроконтроллер, управляющий температурным режимом, блок обработки данных с аналого-цифровым преобразователем, вакуумную измерительную камеру, содержащую, по меньшей мере, один газовый сенсор, согласно предложенной полезной модели, снабжено излучателем, датчиком температуры зарядочувствительным усилителем, соединенным с газовым сенсором, при этом газовый сенсор, излучат |
