Piezoaktormodul mit Kabeldurchführungen und ein Verfahren zu dessen Herstellung

摘要

Es wird ein Piezoaktormodul mit Kabeldurchführungen für ein einen Piezoaktor (33) und ein derart hergestelltes Piezoaktormodul vorgeschlagen, bei dem zwischen einem Aktorkopf und einem Aktorfuß (30) angeordnete Piezoelemente vorhanden sind. Es sind im keramischen Aktorfuß (30) isoliert verlaufende Leiter (31, 32) und Zuleitungen (38, 39) für die elektrische Kontaktierung der Piezoelemente über Außenelektroden (34, 35) vorhanden. Während eines Sinterverfahrens für den keramischen Aktorfuß (30) werden elektrisch leitende Einlagen als Leiter (31, 32) im Aktorfuß (30) elektrisch isoliert miteingesintert, die an Kontaktstellen (36, 37) zu den Piezoelementen mit den Außenelektroden (34, 35) und über weitere Kontaktstellen mit Zuleitungen (38, 39) für das Piezoaktormodul elektrisch verbunden werden.