摘要 |
Diese Anmeldung beschreibt ein Verfahren zum optischen Vermessen der Oberflächenstruktur (111) eines Bauelements (110). Das Verfahren weist folgende Schritte auf: (a) Aussenden eines Beleuchtungslichts (102) in Richtung des Bauelements (110), (b) Abtasten des Bauelements (110) durch eine Relativbewegung (122) zwischen Bauelement (110) und Beleuchtungslicht (102), wobei das Bauelement (110) unter einem ersten Winkel beleuchtet wird und wobei ein Messlicht (107) aufgenommen wird, welches von dem Bauelement (110) zumindest teilweise auf einen Lichtdetektor (106) zurückgestreut wird, und (c) erneutes Abtasten des Bauelements (110) durch eine erneute Relativbewegung (122) zwischen Bauelement (110) und Beleuchtungslicht (102), wobei das Bauelement (110) unter einem zweiten Winkel beleuchtet wird, welcher unterschiedlich zu dem ersten Winkel ist, und wobei erneut ein Messlicht (107) aufgenommen wird, welches von dem Bauelement (110) zumindest teilweise auf den Lichtdetektor (106) zurückgestreut wird.
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