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Erfindungsgegenstand sind ein Verfahren und eine Schaltungsanordnung zum Betreiben eines mikromechanisch kapazitiven Sensors, der mindestens einen durch zwei feststehende Elektroden (E1, E2) und eine durch eine externe Kraft auslenkbare, bewegliche Mittelelektrode (E0) gebildeten Differenzialkondensator aufweist, deren Auslenkung gemessen wird. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass ein der elektrostatischen Rückstellkraft entsprechender Anteil der an der Mittelelektrode wirkenden Kraft kompensieressen Auslesesignal über einen Regler, in Ergänzung zum Rückstell-Durchsprechsignal so beeinflusst, dass die entstehende kapazitive Rückstellkraft einer Auslenkung der Mittelelektrode kompensierend entgegenwirkt. Es werden zwei Ausführungsvarianten der Erfindung und diese ergänzende Maßnahme zur Optimierung der Regelung vorgestellt.
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