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Es ist ein hohes Maß an Messsicherheit bietender Differenzdrucksensor beschrieben, mit einer auf einem ersten Träger (3a) angeordneten ersten Messmembran (5a), auf deren dem Träger (3a) zugewandten Außenseite im Messbetrieb ein erster Druck (p1) einwirkt, auf deren vom ersten Träger (3a) abgewandten Innenseite mindestens eine erste Elektrode (E1, E1') und mindestens ein piezoresistives Sensorelement (R) zur Erfassung einer vom Differenzdruck abhängigen Auslenkung der ersten Messmembran (5a) angeordnet sind, einer auf einem zweiten Träger (3b) angeordneten zweiten Messmembran (5b), die parallel zur ersten Messmembran (5a) verläuft, auf deren dem Träger (3b) zugewandten Außenseite im Messbetrieb ein zweiter Druck (p2) einwirkt, auf deren vom zweiten Träger (3b) abgewandten Innenseite mindestens eine zweite Elektrode (E2, E2') angeordnet ist, die zusammen mit einer zugeordneten auf der ersten Messmembran (5a) angeordneten ersten Elektrode (E1, E1') ein kapazitives Sensorelement zur Erfassung eines zwischen dem ersten und dem zweiten Druck (p1, p2) bestehenden Differenzdrucks bildet, bei dem die erste und die zweite Messmembran (5a, 5b) über eine einen äußeren Rand (21) der Innenseite der ersten Messmembran (5a) mit einer äußeren Rand (21) der Innenseite der zweiten Messmembran (5b) verbindende mechanische Verbindung (P) und einen mit den Membranmitten der beiden Messmembranen (5a, 5b) verbundenen Abstandshalter (7) gleicher Bauhöhe parallel zueinander angordnet sind und ...
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