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发明名称 KONTAKTHÜLSE UND DURCHKOPPELGERÄT
摘要
申请公布号 DE60229740(D1) 申请公布日期 2008.12.18
申请号 DE2002629740 申请日期 2002.05.14
申请人 EBARA CORP. 发明人 HATAKEYAMA, MASAHIRO;SATAKE, TOHRU;MURAKAMI, TAKESHI;WATANABE, KENJI;NOJI, NOBUHARU
分类号 G03F7/20;H04N3/15;G01N21/956;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/26;H01L21/027;H01R13/00;H01R13/24;H04N5/225 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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