发明名称 ROTIERENDE MAGNETANORDNUNG UND ZERSTÄUBUNGSQUELLE
摘要
申请公布号 DE60040757(D1) 申请公布日期 2008.12.18
申请号 DE20006040757 申请日期 2000.09.27
申请人 OERLIKON USA INC. 发明人 RICHARDS, EDMOND A.;FOURNIER, PAUL R.;JOHNSON, DAVID;LATEEF, ABDUL;LISHAN, DAVID G.;ONISHI, SHINZO;KENNEY, MARK D.
分类号 C23C14/00;C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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