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发明名称
ROTIERENDE MAGNETANORDNUNG UND ZERSTÄUBUNGSQUELLE
摘要
申请公布号
DE60040757(D1)
申请公布日期
2008.12.18
申请号
DE20006040757
申请日期
2000.09.27
申请人
OERLIKON USA INC.
发明人
RICHARDS, EDMOND A.;FOURNIER, PAUL R.;JOHNSON, DAVID;LATEEF, ABDUL;LISHAN, DAVID G.;ONISHI, SHINZO;KENNEY, MARK D.
分类号
C23C14/00;C23C14/35;H01J37/34
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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