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发明名称 Verfahren zur chemisch-mechanischen Polierung von Metalleitungen mit niedrigem Mulden-Effekt in der Herstellung von halbleitenden Wafern
摘要
申请公布号 DE60136408(D1) 申请公布日期 2008.12.18
申请号 DE20016036408 申请日期 2001.03.22
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 ALLERS, KARL-HEINS
分类号 H01L21/321;B24B37/04;B24B49/14;C09G1/02;H01L21/66;H01L21/768 主分类号 H01L21/321
代理机构 代理人
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