Herstellung von Metallverbindungen der 12. und 13. Gruppe, die niedrige Mengen an Sauerstoff-enthaltenden Verunreinigungen aufweisen,申请号DE200560010804T-传众专利搜索

发明名称	Herstellung von Metallverbindungen der 12. und 13. Gruppe, die niedrige Mengen an Sauerstoff-enthaltenden Verunreinigungen aufweisen
摘要
申请公布号	DE602005010804(D1)	申请公布日期	2008.12.18
申请号	DE200560010804T	申请日期	2005.09.02
申请人	ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS, L.L.C.	发明人	SHENAI-KHATKHATE, DEODATTA VINAYAK;AMAMCHYAN, ARTASHES
分类号	H01L21/36;C07F3/06;C07F3/08;C07F3/10;C07F5/00;C07F5/06;C23C16/30	主分类号	H01L21/36
代理机构		代理人
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