发明名称 |
制造包含分离层的多层结构的方法 |
摘要 |
一种用于生产在其深度范围内包含分离层的多层结构的方法,所述方法包括生产初始多层结构(1),该初始多层结构包括基础衬底(2)、表面衬底(5)以及位于基础衬底和表面衬底之间的吸收剂层(3)和可液化的中间层(4);所述吸收剂层(3)能在至少一个区域吸收光功率通量;所述中间层(4)至少在一个区域包括杂质,相对于构成所述中间层的材料,该杂质具有的偏析系数小于1;所述生产方法还包括在一定时间内将初始结构(1)暴露于至少一个脉冲方式的所述光功率通量下,调节所述功率通量以便于在热能传播效应下液化至少一部分所述中间层(4),这样由于原来存在所述杂质,在所述中间层至少部分固化之后,所述中间层(4)的至少一个特性和/或至少一个性质被改变,从而所述中间层至少部分地形成分离层。 |
申请公布号 |
CN100444335C |
申请公布日期 |
2008.12.17 |
申请号 |
CN200580021845.8 |
申请日期 |
2005.05.20 |
申请人 |
米歇尔·布吕埃尔 |
发明人 |
米歇尔·布吕埃尔 |
分类号 |
H01L21/324(2006.01);H01L21/762(2006.01);H01L21/20(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/324(2006.01) |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人 |
顾晋伟;刘继富 |
主权项 |
1.一种制造多层结构的方法,所述多层结构在其深度范围内包括分离层,其特征在于,所述方法包括:-制造初始多层结构(1),其包含基础衬底(2)、表面衬底(5)以及在所述基础衬底和所述表面衬底之间的吸收剂层(3)和可液化中间层(4),所述吸收剂层可以在至少一个区域吸收光功率通量,所述可液化中间层至少在一个区域包括杂质,该杂质相对于构成所述中间层材料的偏析系数小于1;和-在限定时间内使所述初始多层结构(1)经受以至少一个脉冲形式的所述光功率通量,调节所述光功率通量以在热能传播效应下液化至少一部分所述中间层(4),所述热能传播效应源自光功率在所述吸收剂层(3)中的吸收、从所述吸收剂层(3)到所述中间层(4)中和/或光功率由所述中间层(4)的吸收,这样,由于初始存在的所述杂质,导致所述中间层(4)由于至少部分固化而改变至少一个特性和/或至少一个性质,因此该中间层至少部分构成分离层(16)。 |
地址 |
法国弗雷沃鲁瓦泽 |