表面等离子体共振光谱传感器

摘要

本发明涉及一种表面等离子体共振光谱传感器。现有技术采用角度扫描进行测量，存在机械运动部件和用于调控角度扫描的部件，结构较复杂。本发明沿宽波段光源的发射光路依次设置有光束整形器、起偏器和表面等离子体共振器。表面等离子体共振器是截面为等腰直角三角形的柱形棱镜，其斜边底面镀有金属反射膜构成传感平面。入射光束与表面等离子体共振器的直角边入射面垂直，在传感平面发生内全反射后由直角边出射面出射。出射光束方向上依次设置有检偏器、括束镜和反射式闪耀光栅。线阵光电传感器设置在反射式闪耀光栅衍射光束出射方向上，并与衍射光发散方向平行。本发明无机械运动部件，具有结构简单、稳定性高等特点。

主权项

1、表面等离子体共振光谱传感器，包括宽波段光源、光束整形器、起偏器、表面等离子体共振器、检偏器、括束镜、反射式闪耀光栅和线阵光电传感器，其特征在于：沿宽波段光源的发射光路依次设置有光束整形器、起偏器和表面等离子体共振器；所述的表面等离子体共振器是截面为等腰直角三角形的柱形棱镜，其斜边底面镀有金属反射膜构成传感平面；入射光束与表面等离子体共振器的直角边入射面垂直，在传感平面发生内全反射后由直角边出射面出射；出射光束方向上依次设置有检偏器、括束镜和反射式闪耀光栅，线阵光电传感器设置在反射式闪耀光栅衍射光束出射方向上，并与衍射光发散方向平行。