| 发明名称 | 干式化学处理衬底的方法及其用途 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于对选自包括硅、陶瓷、玻璃和石英玻璃的组的衬底进行干式化学处理的方法，其中在加热的反应室内用包含氯化氢的气体作为蚀刻剂来处理所述衬底，还涉及可以以上述方法来制备的衬底。本发明还涉及上述方法的用途。 | ||
| 申请公布号 | CN101326619A | 申请公布日期 | 2008.12.17 |
| 申请号 | CN200680045865.3 | 申请日期 | 2006.12.06 |
| 申请人 | 弗兰霍菲尔运输应用研究公司 | 发明人 | 斯特凡·雷伯;格哈德·维勒克 |
| 分类号 | H01L21/306(2006.01);H01L21/324(2006.01);H01L21/322(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01L21/205(2006.01) | 主分类号 | H01L21/306(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 蔡胜有;刘继富 |
| 主权项 | 1.一种用于干式化学处理选自包含硅、陶瓷、玻璃和石英玻璃的组的衬底的方法，其中在加热的反应室内利用蚀刻气体处理所述衬底，所述蚀刻气体包含含氯的气体或者含有至少一种含氯化合物的气体，其特征在于，在所述处理过程中进行所述衬底的净化，其中选择温度和所述蚀刻气体的浓度，使得至少部分去除包含在所述衬底体积内的杂质和/或外来原子。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||