发明名称 TERNARY ALUMINUM ALLOY FILMS AND TARGETS
摘要
申请公布号 EP2002027(A1) 申请公布日期 2008.12.17
申请号 EP20070754298 申请日期 2007.03.28
申请人 PRAXAIR TECHNOLOGY, INC. 发明人 SARKAR, JAYDEEP;LO, CHI-FUNG;GILMAN, PAUL, S.
分类号 C23C14/34;C03C17/09;C22C21/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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