发明名称 | 一种白宝石晶体的表面加工方法 | ||
摘要 | 本发明涉及白宝石晶体的表面加工方法,具体地说是用重量浓度30-50%二氧化硅水溶液进行化学机械抛光,精抛光的操作条件为:溶液pH值为9~11,温度控制在22~25℃,机床转速为40~100转/分,抛光时间为8~14小时。利用本发明的方法不但可以提高白宝石晶体的加工精度,使表面粗糙度达到小于0.5nm rms,而且可以大大降低加工时间。 | ||
申请公布号 | CN101323096A | 申请公布日期 | 2008.12.17 |
申请号 | CN200710011727.X | 申请日期 | 2007.06.15 |
申请人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明人 | 刘顺福;孙龙;王锋;韩圣安 |
分类号 | B24B9/16(2006.01) | 主分类号 | B24B9/16(2006.01) |
代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人 | 马驰;周秀梅 |
主权项 | 1.一种白宝石晶体的表面加工方法,其特征在于:将经过研磨加工的白宝石晶体基片采用重量浓度30-50%二氧化硅水溶液进行化学机械抛光,溶液PH值为9~11,抛光机械采用两轴或四轴研磨抛光机,于抛光盘上铺设有光学抛光布,机床转速为40~100转/分,抛光时间为8~14小时。 | ||
地址 | 116023辽宁省大连市中山路457号 |