XY工作台执行器

摘要

XY工作台执行器，能内置可使搭载在工作台上的对象物在XY平面内自由移动且定位的驱动机构，并能实现显著的小型化、能将工作台的高度抑制得较低，由固定板(2)、移动板(5)、中间板(4)、X驱动机构(6)、Y驱动机构(7)构成。固定板具有沿X方向的收容槽；移动板具有沿Y方向的收容槽；中间板的下半体借助于滚动体组装在固定板的收容槽(20)内，上半体借助于滚动体组装在移动板(5)的收容槽内，中间板(4)可相对固定板向X方向、相对于移动板向Y方向自由移动；X驱动机构(6)相对于固定板向X方向推动中间板；Y驱动机构(7)相对于中间板向Y方向推动移动板，在中间板上分别设置了X驱动机构及Y驱动机构的收容室(40、41)。

主权项

1.一种XY工作台执行器，其特征在于，所述XY工作台执行器由固定板(2)、移动板(5)、中间板(4)、X驱动机构(6)、Y驱动机构(7)构成，所述固定板(2)具有沿X方向的收容槽(20)，被形成为大致凹槽状；所述移动板(5)具有沿Y方向的收容槽，被形成为大致凹槽状；所述中间板(4)的下半体借助于滚动体(3)被组装在上述固定板的收容槽内，另一方面，所述中间板(4)的上半体借助于滚动体(3)被组装在上述移动板的收容槽内，该中间板(4)可相对于上述固定板向X方向、相对于上述移动板向Y方向自由移动；所述X驱动机构(6)相对于上述固定板，向X方向推动中间板；所述Y驱动机构(7)相对于上述中间板，向Y方向推动移动板；在上述中间板上分别设置了上述X驱动机构以及Y驱动机构的收容室(40、41)。