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发明名称
ANORDNUNG ZUM EINDIFFUNDIEREN VON DOTIERSTOFFEN IN HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号
DE2133877(A1)
申请公布日期
1973.01.18
申请号
DE19712133877
申请日期
1971.07.07
申请人
SIEMENS AG, 1000 BERLIN U. 8000 MUENCHEN
发明人
DIETZE, WOLFGANG, DIPL.-CHEM. DR.;MUEHLBAUER, ALFRED, DIPL.-ING. DR.;EMEIS, REIMER, DIPL.-PHYS. DR.;REUSCHEL, KONRAD, DIPL.-CHEM. DR., 8011 VATERSTETTEN;KELLER, WOLFGANG, DR., 8551 PRETZFELD
分类号
H01L21/00;(IPC1-7):B01J17/34
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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