发明名称 ANORDNUNG ZUM EINDIFFUNDIEREN VON DOTIERSTOFFEN IN HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DE2133877(A1) 申请公布日期 1973.01.18
申请号 DE19712133877 申请日期 1971.07.07
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN U. 8000 MUENCHEN 发明人 DIETZE, WOLFGANG, DIPL.-CHEM. DR.;MUEHLBAUER, ALFRED, DIPL.-ING. DR.;EMEIS, REIMER, DIPL.-PHYS. DR.;REUSCHEL, KONRAD, DIPL.-CHEM. DR., 8011 VATERSTETTEN;KELLER, WOLFGANG, DR., 8551 PRETZFELD
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):B01J17/34 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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