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发明名称
摘要
申请公布号 JPS482062(Y1) 申请公布日期 1973.01.19
申请号 JP19690032963U 申请日期 1969.04.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/683;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/50;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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