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发明名称 METHOD OF MASKING A SURFACE OF A SEMICONDUCTIVE SUB STRATE
摘要
申请公布号 GB1327306(A) 申请公布日期 1973.08.22
申请号 GBD1327306 申请日期 1972.03.20
申请人 PLESSEY CO LTD 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/265;H01L21/312;(IPC1-7):H01L7/00;G03C5/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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