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发明名称
摘要
申请公布号 JPS4957845(A) 申请公布日期 1974.06.05
申请号 JP19720097700 申请日期 1972.09.30
申请人 发明人
分类号 G03H1/00;H01L21/027 主分类号 G03H1/00
代理机构 代理人
主权项
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