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发明名称
摘要
申请公布号 FR2247819(A1) 申请公布日期 1975.05.09
申请号 FR19740028149 申请日期 1974.08.08
申请人 IBM,US 发明人
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/225;(IPC1-7):H01L7/34 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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