发明名称 KETSUSHOSEICHORO
摘要
申请公布号 JPS516185(A) 申请公布日期 1976.01.19
申请号 JP19740076374 申请日期 1974.07.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAMYANAGI KIICHI;SAITO SUSUMU;ITO KAZUHIRO;KURATA KAZUHIRO
分类号 C30B19/08;H01L21/208 主分类号 C30B19/08
代理机构 代理人
主权项
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