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发明名称
摘要
申请公布号
JPS515752(B1)
申请公布日期
1976.02.23
申请号
JP19700063163
申请日期
1970.07.17
申请人
发明人
分类号
H01L29/73;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/329;H01L21/331;H01L21/78;H01L29/08;H01L29/86;(IPC1-7):H01L21/78
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
地址
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