发明名称 HANDOTAISOCHI OYOBISONO SEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JPS5146882(A) 申请公布日期 1976.04.21
申请号 JP19740120571 申请日期 1974.10.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KAWAKAMI AKIRA;HOKUYO SHIGERU;GAMO HIROSHI;HORIE KAZUO
分类号 H01L29/74;H01L21/322;H01L29/744 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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