发明名称 SHUSEKIKAIROSOSHINO NYURYOKUTANSHIHOGOKAIRO
摘要
申请公布号 JPS5161771(A) 申请公布日期 1976.05.28
申请号 JP19740135469 申请日期 1974.11.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKASHIMA HAJIME;KITO SADAO
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L23/00;H01L23/58;H01L23/62;H01L27/00 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
地址