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发明名称 ZAHYOGENTENHOSEIHOHO
摘要
申请公布号 JPS5179577(A) 申请公布日期 1976.07.10
申请号 JP19750000120 申请日期 1975.01.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 HONMA KAZUHIKO;FURUYA TERUO;KAMEYAMA MASAYOSHI;OBATA OSAMU
分类号 G05D3/12;G05D3/00;H01L21/60;H01L21/68 主分类号 G05D3/12
代理机构 代理人
主权项
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