发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS51144172(A) 申请公布日期 1976.12.10
申请号 JP19750067607 申请日期 1975.06.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUKUOKA TAKATOSHI;ASAI TAKAYUKI
分类号 H01J37/22 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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