发明名称 LIQUIDDPHASE EPITAXIAL METHOD
摘要
申请公布号 JPS5222478(A) 申请公布日期 1977.02.19
申请号 JP19750097416 申请日期 1975.08.11
申请人 SIEMENS AG 发明人 KURAUSU BAIRIHI;KIYUNTERU BINSUTERU
分类号 C30B19/00;H01L21/208;H01L33/30 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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