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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5271974(A) 申请公布日期 1977.06.15
申请号 JP19750147975 申请日期 1975.12.11
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 TAKEMAE KOUJI
分类号 H01L29/73;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/70;H01L29/78 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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